TY  - RPRT
TI  - Probing the Nucleation of Al2O3 in Atomic Layer Deposition on Aluminum for Ultrathin Tunneling Barriers in Josephson Junctions
AU  - Alan J. Elliot
AU  - Gary Malek
AU  - Logan Wille
AU  - Rongtao Lu
AU  - Siyuan Han
AU  - Judy Z. Wu
AU  - John Talvacchio
AU  - Rupert M. Lewis
PY  - 2014
DO  - 10.1109/tasc.2013.2247452
UR  - https://arxiv.org/abs/1309.4404
ID  - 1309.4404
ER  -