TY  - RPRT
TI  - Fabrication of Nb/Al2O3/Nb Josephson Junctions using in situ Magnetron Sputtering and Atomic Layer Deposition
AU  - Rongtao Lu
AU  - Alan J. Elliot
AU  - Logan Wille
AU  - Bo Mao
AU  - Siyuan Han
AU  - Judy Z. Wu
AU  - John Talvacchio
AU  - Heidi M. Schulze
AU  - Rupert M. Lewis
AU  - Daniel J. Ewing
AU  - H. F. Yu
AU  - G. M. Xue
AU  - S. P. Zhao
PY  - 2013
DO  - 10.1109/tasc.2012.2236591
UR  - https://arxiv.org/abs/1309.4410
ID  - 1309.4410
ER  -