TY  - RPRT
TI  - Deep Sub-Micron Stud-Via Technology for Superconductor VLSI Circuits
AU  - Sergey K. Tolpygo
AU  - V. Bolkhovsky
AU  - T. Weir
AU  - L. Johnson
AU  - W. D. Oliver
AU  - M. A. Gouker
PY  - 2013
DO  - 10.1088/0953-2048/27/2/025016
UR  - https://arxiv.org/abs/1309.7505
ID  - 1309.7505
ER  -