TY  - RPRT
TI  - Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
AU  - A Dolgov
AU  - D Lopaev
AU  - T Rachimova
AU  - A Kovalev
AU  - A Vasilyeva
AU  - C J Lee
AU  - V M Krivtsun
AU  - O Yakushev
AU  - F Bijkerk
PY  - 2013
DO  - 10.1088/0022-3727/47/6/065205
UR  - https://arxiv.org/abs/1310.4057
ID  - 1310.4057
ER  -