TY  - RPRT
TI  - Helium Ion Microscopy
AU  - Gregor Hlawacek
AU  - Vasilisa Veligura
AU  - Raoul van Gastel
AU  - Bene Poelsema
PY  - 2014
DO  - 10.1116/1.4863676
UR  - https://arxiv.org/abs/1311.1711
ID  - 1311.1711
ER  -