TY  - RPRT
TI  - Metallic coatings of MEMS at low temperatures: stress, elasticity and non-linear dissipation
AU  - Eddy Collin
AU  - Johannes Kofler
AU  - Sabine Lakhloufi
AU  - Sebastien Pairis
AU  - Yuriy M. Bunkov
AU  - Henri Godfrin
PY  - 2013
UR  - https://arxiv.org/abs/1312.4501
ID  - 1312.4501
ER  -