TY  - RPRT
TI  - Development of a NbN Deposition Process for Superconducting Quantum Sensors
AU  - D. M. Glowacka
AU  - D. J. Goldie
AU  - S. Withington
AU  - H. Muhammad
AU  - G. Yassin
AU  - B. K. Tan
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1401.2292
ID  - 1401.2292
ER  -