TY  - RPRT
TI  - Lithography Hotspot Detection and Mitigation in Nanometer VLSI
AU  - Jhih-Rong Gao
AU  - Bei Yu
AU  - David Z. Pan
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1402.3150
ID  - 1402.3150
ER  -