TY  - RPRT
TI  - Fabrication of sub-15nm aluminum wires by controlled etching
AU  - T. Morgan-Wall
AU  - H. J. Hughes
AU  - N. Hartman
AU  - T. M. McQueen
AU  - N. Markovic
PY  - 2014
DO  - 10.1063/1.4874137
UR  - https://arxiv.org/abs/1402.5838
ID  - 1402.5838
ER  -