TY  - RPRT
TI  - Using top graphene layer as sacrificial protection during dielectric atomic layer deposition
AU  - Xiaohui Tang
AU  - Nicolas Reckinger
AU  - Olivier Poncelet
AU  - Pierre Louette
AU  - Jean-François Colomer
AU  - Jean-Pierre Raskin
AU  - Benoit Hackens
AU  - Laurent A. Francis
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1403.3787
ID  - 1403.3787
ER  -