TY - RPRT TI - Computerized Langmuir Probe Measurements in a Capacitively Coupled RF Discharge AU - M. El Shaer AU - A. S. Mohamed AU - A. Massoud AU - M. Mobasher AU - M. Wuttmann PY - 2014 UR - https://arxiv.org/abs/1406.5632 ID - 1406.5632 ER -