TY  - RPRT
TI  - Impact of nitrogen incorporation on interface states in (100)Si/HfO2
AU  - Y. G. Fedorenko
AU  - L. Truong
AU  - V. V. Afanas'ev
AU  - A. Stesmans
AU  - Z. Zhang
AU  - S. A. Campbell
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1406.6609
ID  - 1406.6609
ER  -