TY  - RPRT
TI  - Oblique Angle Deposition of HfO2 Thin Films: Investigation of Elastic and Micro Structural Properties
AU  - R B Tokas
AU  - S Jena
AU  - P Sarkar
AU  - Shyam polaki
AU  - S Thakur
AU  - S Basu
AU  - N K Sahoo
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1406.6858
ID  - 1406.6858
ER  -