TY  - RPRT
TI  - Cryogenic Dark Matter Search Detector Fabrication Process and Recent Improvements
AU  - Andrew Jastram
AU  - Rusty Harris
AU  - Rupak Mahapatra
AU  - James Phillips
AU  - Mark Platt
AU  - Kunj Prasad
AU  - Joel Sander
AU  - Sriteja Upadhyayula
PY  - 2014
DO  - 10.1016/j.nima.2014.10.043
UR  - https://arxiv.org/abs/1408.0295
ID  - 1408.0295
ER  -