TY  - RPRT
TI  - In-chip microstructures and photonic devices fabricated by nonlinear laser lithography deep inside silicon
AU  - O. Tokel
AU  - A. Turnali
AU  - G. Makey
AU  - P. Elahi
AU  - S. Ilday
AU  - T. Çolakoğlu
AU  - E. Ergeçen
AU  - Ö. Yavuz
AU  - R. Hübner
AU  - M. Z. Borra
AU  - I. Pavlov
AU  - A. Bek
AU  - R. Turan
AU  - S. Tozburun
AU  - F. Ö. Ilday
PY  - 2017
UR  - https://arxiv.org/abs/1409.2827
ID  - 1409.2827
ER  -