TY  - RPRT
TI  - Effect of the flash annealing on the impurity distribution and the electronic structure in the inversion layer
AU  - Tomohiro Sakata
AU  - Sakura N Takeda
AU  - Makoto Morita
AU  - Nur I Ayob
AU  - Hiroki Tabata
AU  - Hironori Matsuoka
AU  - Hiroshi Daimon
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1409.7043
ID  - 1409.7043
ER  -