TY  - RPRT
TI  - Growth of alpha-beta phase W thin films over steep Al topography in a confocal sputtering machine
AU  - John Mark Kreikebaum
AU  - Blas Cabrera
AU  - Jeff Yen
AU  - Paul Brink
AU  - Astrid Tomada
AU  - Matt Cherry
AU  - Betty Young
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1410.2611
ID  - 1410.2611
ER  -