TY - RPRT TI - Fabrication of Triangular Nanobeam Waveguide Networks in Bulk diamond Using Single-Crystal Silicon Hard Masks AU - I. Bayn AU - S. Mouradian AU - L. Li AU - J. A. Goldstein AU - T. Schröder AU - J. Zhang AU - E. H. Chen AU - O. Gaathon AU - M. Lu AU - A. Stein AU - C. A. Ruggiero AU - J. Salzman AU - R. Kalish AU - D. Englund PY - 2014 DO - 10.1063/1.4902562 UR - https://arxiv.org/abs/1411.3639 ID - 1411.3639 ER -