TY  - RPRT
TI  - Characterization of TiAlSiON Coatings Deposited by Plasma Enhanced Magnetron Sputtering: XRD, XPS, and DFT Studies
AU  - A. S. Kamenetskih
AU  - A. I. Kukharenko
AU  - E. Z. Kurmaev
AU  - N. A. Skorikov
AU  - N. V. Gavrilov
AU  - S. O. Cholakh
AU  - A. V. Chukin
AU  - V. M. Zainullina
AU  - M. A. Korotin
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1411.3859
ID  - 1411.3859
ER  -