TY  - RPRT
TI  - Characterization of carbon contamination under ion and hot atom bombardment in a tin-plasma extreme ultraviolet light source
AU  - A Dolgov
AU  - D Lopaev
AU  - C J Lee
AU  - E Zoethout
AU  - V. Medvedev
AU  - O Yakushev
AU  - F Bijkerk
PY  - 2014
DO  - 10.1016/j.apsusc.2015.06.079
UR  - https://arxiv.org/abs/1411.4509
ID  - 1411.4509
ER  -