TY  - RPRT
TI  - Sub 20 nm Silicon Patterning and Metal Lift-Off Using Thermal Scanning Probe Lithography
AU  - Heiko Wolf
AU  - Colin Rawlings
AU  - Philipp Mensch
AU  - James L. Hedrick
AU  - Daniel J. Coady
AU  - Urs Duerig
AU  - Armin W. Knoll
PY  - 2014
DO  - 10.1116/1.4901413
UR  - https://arxiv.org/abs/1411.4833
ID  - 1411.4833
ER  -