TY  - RPRT
TI  - Si$_3$N$_4$ nanobeam optomechanical crystals
AU  - Karen E. Grutter
AU  - Marcelo Davanco
AU  - Kartik Srinivasan
PY  - 2014
UR  - https://arxiv.org/abs/1411.5996
ID  - 1411.5996
ER  -