TY  - RPRT
TI  - Nano-artifact metrics based on random collapse of resist
AU  - Tsutomu Matsumoto
AU  - Morihisa Hoga
AU  - Yasuyuki Ohyagi
AU  - Mikio Ishikawa
AU  - Makoto Naruse
AU  - Kenta Hanaki
AU  - Ryosuke Suzuki
AU  - Daiki Sekiguchi
AU  - Naoya Tate
AU  - Motoichi Ohtsu
PY  - 2014
DO  - 10.1038/srep06142
UR  - https://arxiv.org/abs/1412.6271
ID  - 1412.6271
ER  -