TY  - RPRT
TI  - Generation of Ensembles of Individually Resolvable Nitrogen Vacancies Using Nanometer-Scale Apertures in Ultrahigh-Aspect Ratio Planar Implantation Masks
AU  - Igal Bayn
AU  - Edward H. Chen
AU  - Matthew E. Trusheim
AU  - Luozhou Li
AU  - Tim Schröder
AU  - Ophir Gaathon
AU  - Ming Lu
AU  - Aaron Stein
AU  - Mingzhao Liu
AU  - Kim Kisslinger
AU  - Hannah Clevenson
AU  - Dirk Englund
PY  - 2014
DO  - 10.1021/nl504441m
UR  - https://arxiv.org/abs/1412.6600
ID  - 1412.6600
ER  -