TY - RPRT TI - Influence of etching processes on electronic transport in mesoscopic InAs/GaSb quantum well devices AU - Atindra Nath Pal AU - Susanne Mueller AU - Thomas Ihn AU - Klaus Ensslin AU - Thomas Tschirky AU - Christophe Charpentier AU - Werner Wegscheider PY - 2015 DO - 10.1063/1.4926385 UR - https://arxiv.org/abs/1502.06697 ID - 1502.06697 ER -