TY  - RPRT
TI  - A TEM study of Si-SiO2 interfaces in silicon nanodevices
AU  - Paul Spizzirri
AU  - Sergey Rubanov
AU  - Eric Gauja
AU  - Laurens Willems van Beveren
AU  - Rolf Brenner
AU  - Steven Prawer
PY  - 2015
UR  - https://arxiv.org/abs/1503.00785
ID  - 1503.00785
ER  -