TY - RPRT TI - Deposition and characterization of TiZrV-Pd thin films by dc magnetron sputtering AU - Jie Wang AU - Bo Zhang AU - Yan-Hui Xu AU - Wei Wei AU - Le Fan AU - Xiang-Tao Pei AU - Yuan-Zhi Hong AU - Yong Wang PY - 2015 DO - 10.1088/1674-1137/39/12/127007 UR - https://arxiv.org/abs/1503.08977 ID - 1503.08977 ER -