TY  - RPRT
TI  - High-Q Tantalum Oxide Nanomechanical Resonators by Laser-Oxidation of TaSe2
AU  - Santiago J. Cartamil-Bueno
AU  - Peter G. Steeneken
AU  - Frans D. Tichelaar
AU  - Efren Navarro-Moratalla
AU  - Warner J. Venstra
AU  - Ronald van Leeuwen
AU  - Eugenio Coronado
AU  - Herre S. J. van der Zant
AU  - Gary A. Steele
AU  - Andres Castellanos-Gomez
PY  - 2015
DO  - 10.1007/s12274-015-0789-8
UR  - https://arxiv.org/abs/1505.04727
ID  - 1505.04727
ER  -