TY  - RPRT
TI  - Reversal of the Asymmetry in a Cylindrical Coaxial Capacitively Coupled Ar/Cl2 Plasma
AU  - J. Upadhyay
AU  - Do Im
AU  - S. Popović
AU  - A. -M. Valente-Feliciano
AU  - L. Phillips
AU  - L. Vušković
PY  - 2015
UR  - https://arxiv.org/abs/1507.00059
ID  - 1507.00059
ER  -