TY  - RPRT
TI  - Effect of Low-Damage Inductively Coupled Plasma on Shallow NV Centers in Diamond
AU  - Felipe Fávaro de Oliveira
AU  - S. Ali Momenzadeh
AU  - Ya Wang
AU  - Mitsuharu Konuma
AU  - Matthew Markham
AU  - Andrew M. Edmonds
AU  - Andrej Denisenko
AU  - Jörg Wrachtrup
PY  - 2015
DO  - 10.1063/1.4929356
UR  - https://arxiv.org/abs/1507.00890
ID  - 1507.00890
ER  -