TY  - RPRT
TI  - Numerical and experimental studies of the carbon etching in EUV-induced plasma
AU  - D. I. Astakhov
AU  - W. J. Goedheer
AU  - C. J. Lee
AU  - V. V. Ivanov
AU  - V. M. Krivtsun
AU  - O. Yakushev
AU  - K. N. Koshelev
AU  - D. V. Lopaev
AU  - F. Bijkerk
PY  - 2016
UR  - https://arxiv.org/abs/1507.02705
ID  - 1507.02705
ER  -