TY  - RPRT
TI  - Kinetic Interpretation of Resonance Phenomena in Low Pressure Capacitively Coupled Radio Frequency Plasmas
AU  - S. Wilczek
AU  - J. Trieschmann
AU  - D. Eremin
AU  - R. P. Brinkmann
AU  - J. Schulze
AU  - E. Schuengel
AU  - A. Derzsi
AU  - I. Korolov
AU  - P. Hartmann
AU  - Z. Donkó
AU  - T. Mussenbrock
PY  - 2015
DO  - 10.1063/1.4953432
UR  - https://arxiv.org/abs/1507.05505
ID  - 1507.05505
ER  -