TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposited second order nonlinear optical metamaterial for back-end integration with CMOS-compatible nanophotonic circuitry
AU  - StÉphane Clemmen
AU  - Artur Hermans
AU  - Eduardo Solano
AU  - Jolien Dendooven
AU  - Kalle Koskinen
AU  - Martti Kauranen
AU  - Edouard Brainis
AU  - Christophe Detavernier
AU  - Roel Baets
PY  - 2015
DO  - 10.1364/ol.40.005371
UR  - https://arxiv.org/abs/1508.05275
ID  - 1508.05275
ER  -