TY - RPRT TI - Demonstration of superconducting micromachined cavities AU - T. Brecht AU - M. Reagor AU - Y. Chu AU - W. Pfaff AU - C. Wang AU - L. Frunzio AU - M. H. Devoret AU - R. J. Schoelkopf PY - 2015 UR - https://arxiv.org/abs/1509.01119 ID - 1509.01119 ER -