TY  - RPRT
TI  - Uniform non-stoichiometric titanium nitride thin films for improved kinetic inductance detector array
AU  - G. Coiffard
AU  - K-F. Schuster
AU  - E. F. C. Driessen
AU  - S. Pignard
AU  - M. Calvo
AU  - A. Catalano
AU  - J. Goupy
AU  - A. Monfardini
PY  - 2016
DO  - 10.1007/s10909-016-1489-9
UR  - https://arxiv.org/abs/1510.01876
ID  - 1510.01876
ER  -