TY  - RPRT
TI  - VUV irradiance measurement of a 2.45 GHz microwave-driven hydrogen discharge
AU  - J. Komppula
AU  - O. Tarvainen
AU  - T. Kalvas
AU  - H. Koivisto
AU  - R. Kronholm
AU  - J. Laulainen
AU  - P. Myllyperkiö
PY  - 2015
DO  - 10.1088/0022-3727/48/36/365201
UR  - https://arxiv.org/abs/1510.02246
ID  - 1510.02246
ER  -