TY - RPRT TI - Laser cooling of a micromechanical membrane to the quantum backaction limit AU - R. W. Peterson AU - T. P. Purdy AU - N. S. Kampel AU - R. W. Andrews AU - P. -L. Yu AU - K. W. Lehnert AU - C. A. Regal PY - 2015 DO - 10.1103/physrevlett.116.063601 UR - https://arxiv.org/abs/1510.03911 ID - 1510.03911 ER -