TY  - RPRT
TI  - Apparatus and method for plasma processing of SRF cavities
AU  - J. Upadhyay
AU  - Do Im
AU  - J. Peshl
AU  - M. Bašović
AU  - S. Popović
AU  - A. -M. Valente-Feliciano
AU  - L. Phillips
AU  - L. Vuškovića
PY  - 2015
DO  - 10.1016/j.nima.2016.02.049
UR  - https://arxiv.org/abs/1511.04464
ID  - 1511.04464
ER  -