TY - RPRT TI - Laser fabrication of crystalline silicon nanoresonators from an amorphous film for low-loss all-dielectric nanophotonics AU - P. A. Dmitriev AU - S. V. Makarov AU - V. A. Milichko AU - I. S. Mukhin AU - A. S. Gudovskikh AU - A. A. Sitnikova AU - A. K. Samusev AU - A. E. Krasnok AU - P. A. Belov PY - 2015 DO - 10.1039/c5nr06742a UR - https://arxiv.org/abs/1512.03977 ID - 1512.03977 ER -