TY  - RPRT
TI  - Spatial Metrology of Dopants in Silicon with Exact Lattice Site Precision
AU  - Muhammad Usman
AU  - Juanita Bocquel
AU  - Joe Salfi
AU  - Benoit Voisin
AU  - Archana Tankasala
AU  - Rajib Rahman
AU  - Michelle Y. Simmons
AU  - Sven Rogge
AU  - Lloyd L. C. Hollenberg
PY  - 2016
DO  - 10.1038/nnano.2016.83
UR  - https://arxiv.org/abs/1601.02326
ID  - 1601.02326
ER  -