TY  - RPRT
TI  - Microfabrication of large area high-stress silicon nitride membranes for optomechanical devices
AU  - E. Serra
AU  - M. Bawaj
AU  - A. Borrielli
AU  - G. Di Giuseppe
AU  - S. Forte
AU  - N. Kralj
AU  - N. Malossi
AU  - L. Marconi
AU  - F. Marin
AU  - F. Marino
AU  - B. Morana
AU  - R. Natali
AU  - G. Pandraud
AU  - A. Pontin
AU  - G. A. Prodi
AU  - M. Rossi
AU  - P. M. Sarro
AU  - D. Vitali
AU  - M. Bonaldi
PY  - 2015
DO  - 10.1063/1.4953805
UR  - https://arxiv.org/abs/1601.02669
ID  - 1601.02669
ER  -