TY  - RPRT
TI  - Microfabrication technology for large LEKID arrays : from NIKA2 to future applications
AU  - J. Goupy
AU  - A. Adane
AU  - A. Benoit
AU  - O. Bourrion
AU  - M. Calvo
AU  - A. Catalano
AU  - G. Coiffard
AU  - C. Hoarau
AU  - S. Leclercq
AU  - H. Le Sueur
AU  - J. Macias-Perez
AU  - A. Monfardini
AU  - I. Peck
AU  - K. Schuster
PY  - 2016
DO  - 10.1007/s10909-016-1531-y
UR  - https://arxiv.org/abs/1601.03969
ID  - 1601.03969
ER  -