TY  - RPRT
TI  - Conformal Titanium Nitride in a Porous Silicon Matrix: a Nanomaterial for In-Chip Supercapacitors
AU  - Kestutis Grigoras
AU  - Jari Keskinen
AU  - Leif Grönberg
AU  - Elina Yli-Rantala
AU  - Sampo Laakso
AU  - Hannu Välimäki
AU  - Pertti Kauranen
AU  - Jouni Ahopelto
AU  - Mika Prunnila
PY  - 2016
DO  - 10.1016/j.nanoen.2016.04.029
UR  - https://arxiv.org/abs/1603.00798
ID  - 1603.00798
ER  -