TY  - RPRT
TI  - Integrating MEMS and ICs
AU  - Andreas C. Fischer
AU  - Fredrik Forsberg
AU  - Martin Lapisa
AU  - Simon J. Bleiker
AU  - Goran Stemme
AU  - Niclas Roxhed
AU  - Frank Niklaus
PY  - 2016
DO  - 10.1038/micronano.2015.5
UR  - https://arxiv.org/abs/1604.04843
ID  - 1604.04843
ER  -