TY  - RPRT
TI  - Integrated micro-plasmas in silicon operating in helium
AU  - Remi Dussart
AU  - Lawrence J. Overzet
AU  - P Lefaucheux
AU  - Thierry Dufour
AU  - M Kulsreshath
AU  - Monali Mandra
AU  - Thomas Tillocher
AU  - O Aubry
AU  - S Dozias
AU  - P Ranson
AU  - M Goeckner
PY  - 2016
DO  - 10.1140/epjd/e2010-00272-7
UR  - https://arxiv.org/abs/1604.08821
ID  - 1604.08821
ER  -