TY  - RPRT
TI  - Round Robin: Quantitative Lateral Resolution of PHI XPS microprobes Quantum 2000 / Quantera SXM
AU  - U. Scheithauer
AU  - M. Kolb
AU  - G. A. M. Kip
AU  - E. Naburgh
AU  - J. H. M. Snijders
PY  - 2016
DO  - 10.1016/j.elspec.2016.04.007
UR  - https://arxiv.org/abs/1605.02692
ID  - 1605.02692
ER  -