TY  - RPRT
TI  - Suspending superconducting qubits by silicon micromachining
AU  - Y. Chu
AU  - C. Axline
AU  - C. Wang
AU  - T. Brecht
AU  - Y. Y. Gao
AU  - L. Frunzio
AU  - R. J. Schoelkopf
PY  - 2016
DO  - 10.1063/1.4962327
UR  - https://arxiv.org/abs/1606.02822
ID  - 1606.02822
ER  -