TY - RPRT TI - Optical Characterization of PtSi/Si by Spectroscopic Ellipsometry AU - Van Long Le AU - Tae Jung Kim AU - Han Gyeol Park AU - Hwa Seob Kim AU - Chang Hyun Yoo AU - Hyoung Uk Kim AU - Young Dong Kim AU - Junsoo Kim AU - Solyee Im AU - Won Chul Choi AU - Seung Eon Moon AU - Eun Soo Nam and PY - 2016 DO - 10.3938/jkps.69.291 UR - https://arxiv.org/abs/1606.03767 ID - 1606.03767 ER -