TY  - RPRT
TI  - Hafnium carbide formation in oxygen deficient hafnium oxide thin films
AU  - C. Rodenbücher
AU  - E. Hildebrandt
AU  - K. Szot
AU  - S. U. Sharath
AU  - J. Kurian
AU  - P. Komissinskiy
AU  - U. Breuer
AU  - R. Waser
AU  - L. Alff
PY  - 2016
DO  - 10.1063/1.4954714
UR  - https://arxiv.org/abs/1606.08227
ID  - 1606.08227
ER  -