TY  - RPRT
TI  - Ultra-smooth single crystal diamond surfaces resulting from implantation and lift-off processes
AU  - T. N. Tran Thi
AU  - B. Fernandez
AU  - D. Eon
AU  - E. Gheeraert
AU  - J. Hartwig
AU  - T. A. Lafford
AU  - A. Perrat-Mabilon
AU  - C. Peaucelle
AU  - P. Olivero
AU  - E. Bustarret
PY  - 2016
DO  - 10.1002/pssa.201100038
UR  - https://arxiv.org/abs/1608.07171
ID  - 1608.07171
ER  -